气体流量计/质量控制器 型号:QX05-D07-9E
1
流量规格
( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM
2
准确度
±2 % F.S
3
线性
±1 % F.S
4
重复精度
±0.2 % F.S
气体流量计/质量控制器 型号:QX05-D07-9E
5
响应时间
(1 ~ 4) sec
6
工作压差范围
20 , 30 SLM: (0.05 ~ 0.30) MPa （7.3~43.5 psid）
50,150 SLM: (0.10 ~ 0.30) MPa （14.5~43.5 psid）
200,250 SLM: (0.15 ~ 0.30) MPa （21.8~43.5 psid）
7
耐压
3 MPa （435.1 psig）
8
工作环境温度
5 ℃ ~ 45 ℃
9
输入输出信号
0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
10
电源
+15 V 50 mA
-15V 400 mA
11
外形尺寸
见图4
12
重量
2.6 kg
0-20SLM
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