薄膜测厚仪 ME04-C1216M 库号：M317070
一、 方案概述
该技术方案根据隔膜产品厚度测试常规方式编写，提供的薄膜厚度仪满足日常厚度测量技术要求，同时满足国标（GBT 6672-2001）规定的技术要求。薄膜厚度仪方案为多个部件的组合件，产品主要由C1216M 主机及其附属件（整套系统由数显箱，传感器测头，工作台架和提升装置及接口软件）组成。 该套方案旨在满足用户隔膜产品厚度检测要求，实现厚度检测功能。
薄膜测厚仪 ME04-C1216M 库号：M317070
二、基本技术要求
薄膜测厚仪主要用于对薄膜产品进行厚度检测。
使用地点：厂房检验室
实验环境：温度 20±2℃ 湿度 50±5%
基本性能应满足以下要求：
1、测量厚度范围：>3um
2、测量精度：0.01um
3、产品在使用过程中不能出现任何事故，性能可靠，能长周期运行。
4、测试软件，能够在测试过程中直观显示测试数据（数据传输至EXCEL表格或其他用户位置），可用于后续统计分析。
薄膜测厚仪 ME04-C1216M 库号：M317070
三、 薄膜测厚仪技术参数描述
薄膜厚度仪相关组件规格及技术参数如下：
结构及设计特点 整套系统由数显箱，传感器测头，工作台架和提升装置组成
数显箱（C1216M）特性：
a, 数显箱采用LCD 显示，带模拟指针显示和两行数字显示
b, 5 个三色灯用于超差和处于公差极*的报警
c, 静态测量： ± A, ± B 和所有组合
d, 动态测量：大值，小值，极差值，极和值，平均值
e, 可通过按键或R232 接口连接设置软件进行相关的设置与编程
-传感器测头特性：
a, 测量范围±2mm
b, 通过提升装置实现抬升功能
c, 测力标准为0.75N
d, 测量精度：0.05um（±0.1mm 范围内）
工作台架（820FC）特性：
a, 工作范围0-110mm
b, 底座由淬硬不锈钢制成
c, 支撑杆为不锈钢材质
传感器测头（1301）特性：
工作量程：±1mm
支持手动提升线提升
大测量误差：
0.5μm（±0.5mm 量程范围内）
1μm（±1mm 量程范围内）
样品种类（仪器适用的分析样品种类） 薄膜等
仪器的测量范围 大量程±1mm
仪器的分辨率 0.01μm
温度（或其它技术参数）范围 工作于室温状态
仪器配置的主要附件及规格 见配置清单
测试的重复性误差fw 0.1μm
键盘和显示 LED 屏幕显示
水、电、气等外部条件要求 220V，50Hz，11W
外形尺寸 数显箱：205mm x 160 mm x 165 mm
工作台架：155 mm x 100 mm x 216.5 mm
重量 数显箱：2.1Kg 工作台架：2.6Kg
整套系统(数显箱，传感器测头，工作台架和提升装置)
