内圆切片机 型号:OC911-QP-301D

内圆切片机 型号:OC911-QP-301D

主要技术指标：
切割晶圆尺寸：＜￠100mm
刀片规格：φ422mm×φ152mm ×0.15mm
切割晶棒长度：350mm
切割进给速度：1～99mm/min
切割返回速度：1～999mm/min

内圆切片机 型号:OC911-QP-301D

送料进给步距偏差：±0.007mm (按1mm当量进给)
片厚设定范围：0.01～40.00mm晶向调节
水平方向(X)±7o(分辩率2')
垂直方向(Y)±7°(分辩率2')
功耗：2.5KW,～380V±38V,50HZ±1HZ
空气源：0.4~0.5MPa
触摸屏：5.7英寸
外形尺寸：1100mm×660mm×2230mm
重量：1100kg
可选方案：
●￠422mm规格加深型刀盘配置方案，使片厚设定范围可达58.00mm（QP-301T型）。
●￠457mm规格刀盘配置方案，使切割晶棒直径可达￠105mm（QP-401型）。

内圆切片机 型号:OC911-QP-301D

主要技术指标：
切割晶圆尺寸：＜￠100mm
刀片规格：φ422mm×φ152mm ×0.15mm
切割晶棒长度：350mm
切割进给速度：1～99mm/min
切割返回速度：1～999mm/min

内圆切片机 型号:OC911-QP-301D

送料进给步距偏差：±0.007mm (按1mm当量进给)
片厚设定范围：0.01～40.00mm晶向调节
水平方向(X)±7o(分辩率2')
垂直方向(Y)±7°(分辩率2')
功耗：2.5KW,～380V±38V,50HZ±1HZ
空气源：0.4~0.5MPa
触摸屏：5.7英寸
外形尺寸：1100mm×660mm×2230mm
重量：1100kg
可选方案：
●￠422mm规格加深型刀盘配置方案，使片厚设定范围可达58.00mm（QP-301T型）。
●￠457mm规格刀盘配置方案，使切割晶棒直径可达￠105mm（QP-401型）。