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磁控离子溅射仪 型号:XZ1-SBC-16
主要适用于扫描电镜成像中非导电样品的镀膜,
适用于不耐高温的样品，无热损伤;也可适用于电极，金属镀膜等。
磁控离子溅射仪 型号:XZ1-SBC-16
技术参数
靶材 适合Au,Au/Pd,Pt,Pt/Pd
工作腔室：
内径105mmx120mm
样品台(可定制)：
可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为60mm
旋转倾斜样品台(选配)
抽气速率：1L/s
极-限真空：5*10的负2次方Pa
工作气体：空气或氩气
配置清单：
靶材(金或者铂)，机械泵，玻璃罩，油雾过滤器各-个
磁控离子溅射仪 型号:XZ1-SBC-16
主要适用于扫描电镜成像中非导电样品的镀膜,
适用于不耐高温的样品，无热损伤;也可适用于电极，金属镀膜等。
磁控离子溅射仪 型号:XZ1-SBC-16
技术参数
靶材 适合Au,Au/Pd,Pt,Pt/Pd
工作腔室：
内径105mmx120mm
样品台(可定制)：
可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为60mm
旋转倾斜样品台(选配)
抽气速率：1L/s
极-限真空：5*10的负2次方Pa
工作气体：空气或氩气
配置清单：
靶材(金或者铂)，机械泵，玻璃罩，油雾过滤器各-个
