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台式匀胶机 型号:CN61-KW-5
技术参数及要求：变频调速
基片尺寸：Φ100-Φ200mm（4 英寸～8 英寸）
转速：500-5000 转/分
转速稳定性：±1%
旋涂均匀性：±5％
旋涂工艺阶段：2 段
旋涂时间：Ⅰ速 0~18S；Ⅱ速 0~60S
整机尺寸（长宽高）：425 mm×500 mm×300 mm
裸机尺寸（长宽高）：425mm×500mm×190mm
电机功率：180W
适应材料：硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料
台式匀胶机 型号:CN61-KW-5
技术参数及要求：变频调速
基片尺寸：Φ100-Φ200mm（4 英寸～8 英寸）
转速：500-5000 转/分
转速稳定性：±1%
旋涂均匀性：±5％
旋涂工艺阶段：2 段
旋涂时间：Ⅰ速 0~18S；Ⅱ速 0~60S
整机尺寸（长宽高）：425 mm×500 mm×300 mm
裸机尺寸（长宽高）：425mm×500mm×190mm
电机功率：180W
适应材料：硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料
台式匀胶机 型号:CN61-KW-5
