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磁控溅射仪(含靶材4片） ZX/GEMINI-500
技术参数
真空泵.--(泵油)旋转真空泵
旋转真空泵转速50 Hz: 8 m2/h (2.2 L/s) / 60 Hz: 9.6m%/h (2.6 L/s)
JI限真空度2Pa
溅射电流≤100mA
工作压力2Pa - 10Pa
抽真空时间<5 Min (2 Pa)
磁控溅射仪(含靶材4片） ZX/GEMINI-500
真空测量 测量范围从大气压到2x102mbar
气体控制气体流量控制阀
腔体尺寸φ186*120mm(高)抗刮石英玻璃
磁控靶源 靶尺寸φ50/ 溅射靶源:金、银、铂
操作方法 操作手册。
重量/尺寸30kg/430mm 长x 390mm 宽x 420mm 高
工作电源AC 220V 50Hz
电源功率<2000W
冷却方式 电制冷(选配)
磁控溅射仪(含靶材4片） ZX/GEMINI-500
自动化镀膜流程
全流程自动运行减少人工误差提|升|重复性与效率
GAO兼容性与均匀沉积
兼容多种靶材适配多类样品沉积均匀一致
热敏样品保护热敏溅射功能功率缓慢爬升降低样品受热风险
操作与模块化设计
触控操作直观
模块化便于升JI维护加便捷
